Qu'est-ce que la spectroscopie d'électrons de tarière?
La spectroscopie d'électrons
(AES) est souvent utilisée pour déterminer la composition chimique d'une couche mince microscopique d'une surface. Les particules appelées électrons sont généralement destinées au matériau, déclenchant l'effet de tarière, dans lequel un électron de la coquille intérieure d'un atome est retiré, une particule de niveau supérieur prend sa place et un autre électron est émis. Réalisée dans un vide ultra-élevé, les tests sont généralement effectués avec un pistolet électronique, un analyseur, un détecteur et un enregistreur de données. Les informations sont généralement analysées graphiquement; La nature des pics aide généralement à identifier les composés présents dans l'échantillon.
Les faisceaux d'électrons sont souvent utilisés, bien que les rayons X soient parfois libérés à la place. Le type de matériau testé détermine ce qui est utilisé; Les oxydes, par exemple, peuvent se dégrader s'ils sont exposés à des niveaux élevés d'électrons. Les substances peuvent être identifiées car l'énergie d'un électron de tarière est généralement unique à l'élément. Dans la spectroscopie d'électrons au tarif, le pairLes tics qui s'échappent ne sont généralement pas aussi énergiques que les autres. Ils doivent généralement être très proches de la surface pour pouvoir s'échapper, et tous les gaz présents pendant les EI peuvent empêcher la particule d'atteindre le détecteur.
Un pistolet électronique utilisé dans la spectroscopie d'électrons au tarière se compose généralement d'une source de particules et d'une lentille qui concentre le faisceau. La lentille peut être électrostatique ou électromagnétique; Le celui utilisé dépend de la résolution requise. Un analyseur d'énergie électronique qui fait partie d'une technique de spectroscopie d'électrons au tarière peut trier les particules émises par leurs niveaux d'énergie. L'analyseur peut être conçu comme un miroir cylindrique ou deux coquilles concentriques hémisphériques.
Les détecteurs
sont souvent utilisés pour la spectroscopie d'électrons de tarière. Les données sont ensuite analysées par des ensembles de pics sur un graphique. Les analyses prennent généralement quelques minutes pour terminer,Les mesures à haute résolution LE peuvent prendre jusqu'à 25 minutes. Une analyse d'enquête identifie généralement les éléments présents, tandis qu'un autre scan peut dire à quel point certains atomes sont concentrés. Si le faisceau est scanné à travers l'échantillon, une carte de la surface mesurée peut être produite.
La science de la spectroscopie électronique de l'AUGER est souvent utilisée dans de nombreuses applications de physique et de chimie. En plus d'identifier les éléments sur les surfaces, il peut également être utilisé pour détecter l'oxydation et la corrosion. La réponse à la température et la fatigue apparentée peuvent être analysées à l'aide d'EI. La technique peut également être utilisée pour inspecter les circuits intégrés pour les contaminants, mais une limitation du processus est qu'il y a souvent des dommages à la surface du matériau testé.