Was ist die Auger -Elektronenspektroskopie?

Auger -Eger -Spektroskopie (AES) wird häufig verwendet, um die chemische Zusammensetzung einer dünnen mikroskopischen Schicht einer Oberfläche zu bestimmen. Partikel, die als Elektronen bezeichnet werden, sind typischerweise auf das Material abzielen und lösen den Auger -Effekt aus, bei dem ein Elektron aus der inneren Schale eines Atoms entfernt wird, ein Partikel mit höherem Niveau seinen Platz einnimmt und ein anderes Elektron emittiert wird. Das in einem ultrahohe Vakuum durchgeführte Tests wird normalerweise mit Elektronenpistole, Analysator, Detektor und Datenrekorder durchgeführt. Die Informationen werden typischerweise grafisch analysiert; Die Art der Peaks hilft normalerweise, zu identifizieren, welche Verbindungen in der Probe vorhanden sind. Die Art des getesteten Materials bestimmt, welche verwendet wird; Oxide können beispielsweise abgebaut werden, wenn sie hohen Elektronenniveaus ausgesetzt sind. Substanzen können identifiziert werden, da die Energie eines Schneckenelektrons in der Regel für das Element einzigartig ist. In der Schneckenelektronenspektroskopie die ParTisches, die entkommen, sind im Allgemeinen nicht so energisch wie andere. Sie müssen im Allgemeinen sehr nahe an der Oberfläche sein, um zu entkommen, und alle während der AE vorhandenen Gase können verhindern, dass das Partikel den Detektor erreicht.

Eine Elektronenpistole, die in der Auger -Elektronenspektroskopie verwendet wird, besteht normalerweise aus einer Quelle für die Partikel und einer Linse, die den Strahl fokussiert. Die Linse kann entweder elektrostatisch oder elektromagnetisch sein; Welcher verwendet wird, hängt von der erforderlichen Auflösung ab. Ein Elektronenergieanalysator, der Teil einer Schneeelektronenspektroskopie -Technik ist, kann die emittierten Partikel nach ihren Energieniveaus sortieren. Der Analysator kann entweder als zylindrischer Spiegel oder zwei hemisphärische konzentrische Schalen ausgelegt werden.

Einzel- oder Mehrkanal-Detektoren werden häufig zur Auger-Elektronenspektroskopie verwendet. Die Daten werden dann durch Peak -Sätze in einem Diagramm analysiert. Scans dauern normalerweise ein paar Minuten, um zu vervollständigen, whiLE-hochauflösende Messungen können bis zu 25 Minuten dauern. Ein Umfrage -Scan identifiziert normalerweise, welche Elemente vorhanden sind, während ein weiterer Scan feststellen kann, wie konzentriert bestimmte Atome sind. Wenn der Strahl über die Probe gescannt wird, kann eine Karte der gemessenen Oberfläche erzeugt werden.

Auger -Elektronenspektroskopiewissenschaft wird häufig in vielen Physik- und Chemieanwendungen verwendet. Neben der Identifizierung von Elementen auf Oberflächen kann es auch verwendet werden, um Oxidation und Korrosion zu erkennen. Die Temperaturreaktion und die damit verbundene Ermüdung können mit AES analysiert werden. Die Technik kann auch verwendet werden, um integrierte Schaltkreise auf Verunreinigungen zu inspizieren, aber eine Einschränkung des Prozesses besteht darin, dass die Oberfläche des getesteten Materials häufig beschädigt wird.