Co je to analýza tenkých filmů?
Analýza tenkých filmů je proces zkoumání polovodičových filmů, nejčastěji používaných při výrobě mikroprocesorů a aplikací sluneční energie, aby se zajistilo, že materiál splňuje provozní specifikace. To se obvykle provádí různými formami mikroskopie, jako je rentgenová difrakce, skenovací analýza elektronového mikroskopu a další během výrobního procesu. Je důležité, aby tenké filmy splňovaly náročné optické, elektrické a depoziční standardy pro součásti založené na nich, nebo nepatrné nedostatky mohou způsobit, že celý obvod, který jsou učiněni, aby podpořili, aby selhal. Na počáteční úrovni produkce substrátu zahrnuje analýza tenkých filmů hledání z pohledu materiálu na vlastnosti filmu, včetně jeho vodivosti, krystalické struktury, chemického složení a bodů rozhraní pror Elektrické komponenty, jako jsou tranzistory. V této analýze tenkých filmů se používají různé formy elektronové spektroskopie, včetně Rutherfordské zpětné spektroskopie (RBS) k určení elementárního složení, augové elektronové spektroskopie (AES) k analýze povrchových prvků a další.
tenké filmy, které se používají ve specializovaných aplikacích, jako jsou kapalné krystalové displeje, solární články a baterie, budou zahrnovat svou vlastní jedinečnou řadu kroků analýzy tenkých filmů. Technologie tenkého filmu se také začíná vzdálit od základního materiálu křemíku. Flexibilní tenké filmové fotovoltaické (PV) založené na polyvinylových plastových sloučeninách pro solární aplikace, vyžaduje také analýzu solárního PV a analýza tenkých filmů zahrnuje jinou sadu procesů než ty, které se používají na křemíku.
Solární film, na rozdíl od polovodičového filmu používaného pro mikroprocesory, často podléhá životnímu prostředíZměny během používání, které vyžadují, aby bylo odolnější a dlouhodobější při teplotě a jiných extrémech. Výsledkem je, že například analýza tenkých filmů materiálů určených pro solární střechy může čelit vyšetření mnoha vědeckými disciplínami, od vědy o materiálech po aplikovanou fyziku, chemii a strojní inženýrství, než bude produkt připraven na prodej.
Nanotechnologie, jak z hlediska zařízení pro analýzu tenkých filmů, tak výrobní procesy, bude i nadále hrát klíčovou roli při kontrole kvality pro tenké filmy. To zahrnuje nutnost provádět analýzu tenkých filmů v laboratorním prostředí čisté místnosti bez slunečního světla a většiny prachu a vzdušných částic, z nichž každá může nevratně poškodit povrch tenkého filmu. Zařízení maskování, leptání a depozice používané k vytvoření tenkého filmu na prvním místě lze také použít k provozování testovacích případů a analýze kvality hotového produktu, aby se zajistilo, že proces je správně kalibrován za účelem výroby funkceIonal End Products.