Was ist Dünnfilmanalyse?

Dünnfilmanalyse ist ein Prozess der Untersuchung von Halbleiterfilmen, die am häufigsten zur Herstellung von Mikroprozessoren und Solarenergieanwendungen verwendet werden, um sicherzustellen, dass das Material den Betriebsspezifikationen entspricht. Dies geschieht normalerweise durch verschiedene Formen der Mikroskopie, wie z. B. Röntgenbeugung, Rasterelektronenmikroskopanalyse und mehr während des Herstellungsprozesses. Es ist wichtig, dass dünne Filme die anspruchsvollen optischen, elektrischen und Ablagerungsstandards für die auf ihnen basierenden Komponenten erfüllen, oder winzige Fehler können die gesamte Schaltung verursachen, die sie unterstützen sollen. Bei der anfänglichen Produktionsniveau des Substrats wird die Dünnfilmanalyse aus der naturwissenschaftlichen Sicht eines Materials auf die Eigenschaften des Films, einschließlich seiner Leitfähigkeit, kristalliner Struktur, chemischer Zusammensetzung und Grenzflächenpunkte, schauenr elektrische Komponenten wie Transistoren. In dieser Dünnfilmanalyse werden verschiedene Formen der Elektronenspektroskopie verwendet, einschließlich Rutherford-Rückstreuungsspektroskopie (RBS), um die Elementarzusammensetzung, die Auger-Elektronenspektroskopie (AES) zu bestimmen, um Oberflächenmerkmale zu analysieren, und mehr.

Dünnfilme, die in speziellen Anwendungen wie Flüssigkristallanzeigen, Solarzellen und Batterien verwendet werden, umfassen jeweils ihre eigene einzigartige Reihe von Dünnfilmanalyseschritten. Die Dünnfilmtechnologie beginnt sich auch von einem Grundmaterial von Silizium zu entfernen. Flexibler Dünnfilm -Photovoltaik (PV) basierend auf Polyvinyl -Kunststoffverbindungen für Solaranwendungen erfordert ebenfalls Solar -PV -Analyse, und die Dünnfilmanalyse dieser Materialien beinhaltet einen anderen Satz von Prozessen als diejenigen, die auf Silizium verwendet werden.

Solarfilm im Gegensatz zu Halbleiterfilm, der für Mikroprozessoren verwendet wirdÄnderungen während des Gebrauchs, bei denen es unter Temperatur und anderen Extremen langlebiger und langlebiger ist. Infolgedessen kann die Dünnfilmanalyse von Materialien, die für Solardächer bestimmt sind, beispielsweise von vielen wissenschaftlichen Disziplinen untersucht werden, von der Materialwissenschaft bis zur angewandten Physik, Chemie und Maschinenbautechnik, bevor das Produkt zum Verkauf bereit ist.

Nanotechnologie, sowohl in Bezug auf Geräte für Dünnfilmanalysen als auch Herstellungsprozesse, wird weiterhin eine Schlüsselrolle bei der Qualitätskontrolle für Dünnfilme spielen. Dies schließt die Notwendigkeit ein, in einer sauberen Laborumgebung, die frei von Sonnenlicht und den meisten Staub und in der Luft befindlichen Partikeln, eine dünne Filmanalyse durchzuführen ist. Die Maskierung, Ätzen und Ablagerungsgeräte, die zur Erstellung des Dünnfilms in erster Linie verwendet werden, kann auch verwendet werden, um Testfälle auszuführen und die Qualität des fertigen Produkts zu analysieren, um sicherzustellenIonale Endprodukte.