Hvad er tynd filmanalyse?
Tynd filmanalyse er en proces med at undersøge halvlederfilm, der oftest bruges til fremstilling af mikroprocessorer og solenergi -applikationer, for at sikre, at materialet opfylder driftsspecifikationer. Dette gøres normalt gennem forskellige former for mikroskopi, såsom røntgenstrålediffraktion, scanning af elektronmikroskopanalyse og mere under fremstillingsprocessen. Det er vigtigt, at tynde film opfylder krævende optiske, elektriske og deponeringsstandarder for komponenterne baseret på dem, eller minutfejl kan forårsage, at hele kredsløbet er lavet til at understøtte til at mislykkes.
Da der også kan være mange trin i processen med at skabe et sidste tyndt filmbaseret produkt, kan analysen af produktet undervejs være mange trin. På det indledende substratproduktionsniveau involverer tynd filmanalyse at se fra et materiales videnskabssynspunkt på filmenes egenskaber, inklusive dens ledningsevne, krystallinsk struktur, kemisk sammensætning og interface -punkter foR elektriske komponenter såsom transistorer. Forskellige former for elektronspektroskopi anvendes i denne tynde filmanalyse, herunder Rutherford-back-spredningsspektroskopi (RBS) til at bestemme elementsammensætning, Auger Electron Spectroscopy (AES) til at analysere overfladefunktioner og mere.
Tynde film, der er anvendt i specialiserede applikationer, såsom flydende krystalskærme, solceller og batterier, vil hver involvere deres egen unikke række tynde filmanalyse trin. Tynd filmteknologi begynder også at bevæge sig væk fra et basismateriale af silicium. Fleksibel tynd film fotovoltaisk (PV) baseret på polyvinylplastforbindelser til solanvendelser kræver også solar PV -analyse, og tynd filmanalyse af disse materialer involverer et andet sæt processer end dem, der bruges på silicium.
Solfilm, i modsætning til halvlederfilm, der bruges til mikroprocessorer, gennemgår ofte miljøÆndringer under brug, der kræver, at det er mere holdbart og langvarigt under temperatur og andre ekstremer. Som et resultat kan tynd filmanalyse af materialer, der er beregnet til soltapler, for eksempel, blive udsat for undersøgelse af mange videnskabelige discipliner, fra materialevidenskab til anvendt fysik, kemi og maskinteknik, før produktet er klar til salg.
Nanoteknologi, både med hensyn til tyndt filmanalyseudstyr og fremstillingsprocesser, vil fortsat spille en nøglerolle i kvalitetskontrol for tynde film. Dette inkluderer nødvendigheden af at udføre tynd filmanalyse i et rent rumlaboratoriemiljø fri for sollys og mest støv og luftbårne partikler, hvoraf enhver kan irreversibelt skade overfladen på en tynd film. Maskering, ætsning og deponeringsudstyr, der bruges til at skabe den tynde film i førsteionale slutprodukter.