O que é análise de filme fino?
Análise de filme fino é um processo de exame de filmes semicondutores, mais frequentemente usado na fabricação de microprocessadores e aplicações de energia solar, para garantir que o material atenda às especificações operacionais. Isso geralmente é feito através de várias formas de microscopia, como difração de raios-X, análise de microscópio eletrônico de varredura e muito mais durante o processo de fabricação. É importante que os filmes finos atendam aos padrões ópticos, elétricos e de deposição exigentes para os componentes com base neles, ou falhas minuciosas podem causar todo o circuito que eles são feitos para apoiar a falha. No nível inicial do substrato de produção, a análise de filme fino envolve a análise do ponto de vista científico de um material nas propriedades do filme, incluindo sua condutividade, estrutura cristalina, composição química e pontos de interface parar componentes elétricos, como transistores. Várias formas de espectroscopia de elétrons são usadas nesta análise de filmes finos, incluindo a espectroscopia de espalhamento traseiro de Rutherford (RBS) para determinar a composição elementar, a espectroscopia de elétrons e o AES (AES) para analisar as características da superfície e muito mais.
Filmes finos empregados em aplicações especializadas, como telas de cristal líquido, células solares e baterias, envolverão sua própria série única de etapas de análise de filmes finos. A tecnologia fina de filmes também está começando a se afastar de um material base de silício. Filme fino flexível fotovoltaico (PV) baseado em compostos de plástico polivinil para aplicações solares, também requer análise solar PV, e a análise de filmes finos desses materiais envolve um conjunto diferente de processos dos usados no silício.
filme solar, diferentemente do filme semicondutor usado para microprocessadores, geralmente sofre ambientalAlterações durante o uso que exigem que seja mais durável e duradouro sob temperatura e outros extremos. Como resultado, a análise fina de filmes de materiais destinados a telhados solares, por exemplo, pode enfrentar o exame de muitas disciplinas científicas, da ciência dos materiais à física aplicada, química e engenharia mecânica antes que o produto esteja pronto para venda.
A nanotecnologia, ambos em termos de equipamentos de análise de filmes finos e processos de fabricação, continuarão a desempenhar um papel fundamental no controle de qualidade para filmes finos. Isso inclui a necessidade de fazer uma análise fina de filmes em um ambiente de laboratório de sala limpa, livre de luz solar e a maioria das partículas de poeira e no ar, qualquer um dos quais pode danificar irreversivelmente a superfície de um filme fino. O equipamento de mascaramento, gravação e deposição usado para criar o filme fino em primeiro lugar também pode ser usado para executar casos de teste e analisar a qualidade do produto acabado para garantir que o processo seja calibrado corretamente para produzir funçãoprodutos finais nacionais.