박막 분석이란 무엇입니까?

박막 분석은 반도체 필름을 검사하는 과정으로, 재료가 작동 사양을 충족하도록하기 위해 마이크로 프로세서 및 태양 에너지 응용의 제조에 가장 자주 사용됩니다. 이것은 일반적으로 제조 공정에서 X- 선 회절, 주사 전자 현미경 분석 및 기타와 같은 다양한 형태의 현미경을 통해 수행됩니다. 박막이 구성 요소에 기반한 구성 요소에 대한 정확한 광학, 전기 및 증착 표준을 충족하는 것이 중요합니다. 또는 미세한 결함으로 인해 실패를 지원하도록 만들어진 전체 회로가 발생할 수 있습니다.

최종 박막 기반 제품을 생성하는 과정에는 많은 단계가있을 수 있기 때문에 많은 단계를 수반 할 수 있습니다. 초기 기질 수준의 생산 수준에서, 박막 분석은 전도도, 결정 구조, 화학 조성 및 인터페이스 FO 지점을 포함하여 필름의 특성에서 재료의 과학적 관점에서 볼 수 있습니다.r 트랜지스터와 같은 전기 부품. Rutherford Back-Scattering Spectroscopy (RBS)를 포함하여 다양한 형태의 전자 분광법이 원소 조성을 결정하기 위해, Auger Electron Spectroscopy (AES), 표면 특징을 분석하는 등의 다양한 형태의 전자 분광법이 사용됩니다.

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액정 디스플레이, 태양 전지 및 배터리와 같은 특수한 응용 분야에 사용되는 박막에는 각각 고유 한 일련의 박막 분석 단계가 포함됩니다. 박막 기술은 또한 실리콘의 기본 재료에서 멀어지기 시작했습니다. 태양 광 응용을위한 폴리 비닐 플라스틱 화합물을 기반으로하는 유연한 박막 광전자 (PV), 태양 광 PV 분석도 필요하며, 이들 재료의 박막 분석은 실리콘에 사용 된 것과는 다른 과정 세트를 포함한다.

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마이크로 프로세서에 사용되는 반도체 필름과 달리

태양열 필름은 종종 환경을 겪습니다.사용하는 동안의 변화는 온도 및 기타 극단에서 더 내구성이 뛰어나고 오래 지속되어야합니다. 결과적으로, 태양열 옥상을위한 재료의 박막 분석은 예를 들어, 재료 과학에서부터 제품 판매 준비 전에 응용 물리학, 화학 및 기계 공학에 이르기까지 많은 과학 분야의 검사에 직면 할 수 있습니다.

박막 분석 장비 및 제조 공정 측면에서

나노 기술은 박막의 품질 관리에 계속 중요한 역할을 할 것입니다. 여기에는 햇빛과 대부분의 먼지 및 공기 중 입자가없는 깨끗한 방 실험실 환경에서 박막 분석을 수행해야 할 필요성이 포함되며,이 중 하나는 박막 표면을 돌이킬 수 없게 손상시킬 수 있습니다. 먼저 박막을 생성하는 데 사용되는 마스킹, 에칭 및 증착 장비를 사용하여 테스트 케이스를 실행하고 완제품의 품질을 분석하여 프로세스가 올바르게 보정되어 Funct를 생성 할 수 있습니다.이온 최종 제품.