湿度校正とは何ですか？

湿度校正では、空気中の水分量を測定するセンサーの精度をチェックし、センサーを適切に調整します。 このような測定は、多くの実験室および製造プロセスで非常に重要です。 特定の温度で保持できる最大値と比較した空気中の水分量である相対湿度（RH）の正確なキャリブレーションは、特に困難です。 周囲温度のわずかな変化は、水分含有量が同じ場合でも値を変える可能性があります。 監視デバイスの適切な湿度キャリブレーションは、信頼できる期間にわたって環境条件が必要な仕様内にとどまるようにするのに役立ちます。

湿度計は、湿度を測定するために使用されるデバイスです。 これらのほとんどは、温度、大気圧、または湿度の変化に敏感な電気特性の変化などの量を測定します。 通常、これらの測定値は、標準の基準と比較して湿度値を示します。 キャリブレーションの難点の1つは、特別なラボの外で正確で安定した相対湿度を生成することです。

便利で広く使用されている湿度校正方法には、飽和塩溶液が含まれます。 RH値の全範囲をカバーする28の異なる塩溶液の特性に関するデータがまとめられています。 このプロセスでは、気密ボックスの底部を飽和塩溶液で覆い、その上の空間に適切な精度で相対湿度を生成します。 RH値は使用する塩に依存し、温度にはほとんど依存しません。 ただし、ボックス内の温度の均一性が必要です。

特定の相対湿度を生成するために、不飽和塩溶液も使用できます。 この場合、生成されるRH値は、塩濃度と周囲温度の慎重な管理に依存します。 上記の方法と同様に、測定デバイスは、湿度キャリブレーション用のソリューションの上のスペースでサポートされています。 目的のRH値が生成されると、デバイスの読み取り値を記録し、調整を行うことができます。

別の方法では、RH 0％の乾燥空気の流れを2つの流れに流します。 1つは最大100％RHの水蒸気で飽和しています。 その後、ガスの流量を制御するために使用される機器であるマスフローコントローラー（MFC）で2つの流量を混合することにより、測定チャンバー内の相対湿度を調整できます。 この方法では、さまざまなレベルの湿度校正が可能ですが、MFCの適切な校正に依存しています。

飽和塩法の実装は、多くの場合、社内のラボをセットアップしたり、機器校正会社と契約したりするリソースのない企業にキットの形で販売されます。 ただし、製薬会社、マイクロエレクトロニクスメーカー、および研究所は、厳しく規制された環境に依存しています。 これらのサイトでは、専門的な湿度校正が標準であり、定期的に実施されています。