リニアステージとは？

リニアステージは、モーションシステムによって移動されるオブジェクトのモーション軸を安定させます。 生じるスライド運動により、一部の人々は、この装置をリニアスライドと呼んでいます。これは、ステージのリニアモーションベアリングコンポーネントです。 リニアステージまたは平行移動ステージのパーツには、リニアモーションベアリングとガイドによってリンクされたプラットフォームとベースが含まれます。 システムは、X軸、Y軸、または垂直Z軸のいずれであっても、単一の軸に沿ったモーション変換を可能にします。

リニアステージのプラットフォームは、常にそのベースに対して移動します。 モーションは、デバイスのガイドによって1つの軸に制限されています。 ガイドのタイプには、ボールベアリングスタイルが含まれます。これは、短い移動距離と重量に対する低容量を提供し、最も安価です。 たわみガイドは非常に正確で摩耗しませんが、移動距離は短いです。 クロスローラーベアリング、大容量円筒スリーブ、およびアリ溝ガイドも、リニアステージで使用される一般的なスタイルです。

移動ステージのリニアアクチュエータは、プラットフォームの移動に合わせてプラットフォームの位置を制御します。 手動設定の場合、親ネジのコントロールノブはステージの角度位置を示します。 光学アプリケーションでは、精密ステージには親ねじよりも高い精度が要求されるため、プラットフォームの金属パッドにファインピッチのねじまたはマイクロメータが取り付けられています。 モーションは、モーションアプリケーションでステップと呼ばれる増分で移動するように設定されているステッピングモーターによって制御することもできます。

エンコーダ付きDCモーターは、リニアステージに統合できます。 固定増分モーションはこのタイプには適用されないため、スケールはステージに統合され、エンコーダーはスケールに対するステージの位置を測定します。 位置決めデータは、ステージを事前に設定された位置に自動的に移動するコントローラーに中継されます。 複数の運動軸を必要とするシステムでは、顕微鏡に使用される2軸ステージなどのリニアステージを組み合わせることができます。 垂直方向の動きが必要な場合は、3軸ステージが使用されます。

モーションシステムでは、精度が重要です。 アッベ誤差は、システムの角度誤差に起因する一般的な変位です。 他の誤差にはピッチ、ロール、ヨーが含まれ、X軸とY軸の精度は他の軸の直交アライメントに依存します。 リニアステージには、回転およびチルトコントロールも含めることができ、最大6軸の運動が可能です。