Co to jest trawienie jonów reaktywnych?
Reaktywne trawienie jonów jest rodzajem technologii stosowanej w mikrofabrykowaniu do usuwania substancji z waflów.Wafle to małe paski półprzewodników stosowane w tworzeniu mikrodevices, a technologia reaktywnego trawienia jonów zapewnia, że pozostają wolne od materiałów, które mogą negatywnie wpłynąć na ich skuteczność.Procedury mikrofabrykowania są wykonywane ze specjalnie zaprojektowanymi urządzeniami, które wskazują substancję do usunięcia bez poświęcania integralności wafla.
Najczęstsze reaktywne urządzenie trawienia jonowe jest wykonane z przedziału próżniowego w kształcie cylindra z izolowanym uchwytem dla wafladolna część komory.W górnej części statku znajdują się małe otwory, które wpuszczają gaz.Używane są różne rodzaje gazów, w zależności od indywidualnych wymagań konkretnego wafla.
Plazma sprzężona indukcyjnie to kolejny tryb tej technologii.Dzięki temu urządzeniu plazma jest wytwarzana przez wysoce wyspecjalizowane pole magnetyczne.Często zdarza się osiągnąć wysoki poziom stężenia osocza za pomocą tej metody.
Reaktywne trawienie jonów w osoczu jest stanem materii, który jest chemicznie reaktywny i jest tworzony przez bardziej standardowe pole elektromagnetyczne częstotliwości radiowej (RF).Jony w osoczu mają niezwykle dużą ilość energii.Jony te reagują na zanieczyszczenia na waflu i pracują nad usunięciem wad na jego powierzchni.
Proces chemiczny zaangażowany w reaktywne trawienie jonów jest wieloaspektowe.Po pierwsze, do komory opłat wysyłane jest znaczne pole elektromagnetyczne.Następnie pole oscyluje, co jonizuje cząsteczki gazu w naczyniu i usuwa ich elektrony.Powoduje to stworzenie plazmy.
Reaktywne trawienie jonów jest jednym typem szerszej kategorii usuwania mikrofabrykacji zwanej trawieniem na sucho.Nie wykorzystuje cieczy w procesie usuwania, w przeciwieństwie do trawienia na mokro, które wykorzystuje różne kwasy i chemikalia, aby osiągnąć ten sam cel.Ponieważ trawienie na mokro powoduje podcinanie do wafla, a także znaczne ilości toksycznych odpadów, suche trawienie staje się bardziej popularną metodą usuwania chemicznego wafel.
Jedną z głównych wad reaktywnego trawienia jonowego jest koszt.W porównaniu z technikami trawienia mokrego jest znacznie droższy ze względu na wyspecjalizowany sprzęt.Jednak ogólnie procesy trawienia na sucho są znacznie bardziej skuteczne w dotarciu do trudniejszych obszarów wafla.Należy jednak pamiętać, że niektóre zadania nie wymagają drobnych szczegółów dostarczonych przez tę formę trawienia, a procedury trawienia na mokro mogą wykonywać zadanie równie skutecznie.