Co to jest trawienie jonów reaktywnych?
Reaktywne trawienie jonów jest rodzajem technologii stosowanej w mikrofabrykowaniu w celu usunięcia substancji z płytek. Wafle to małe paski półprzewodników stosowane w tworzeniu mikrodevices, a technologia reaktywnego trawienia jonów zapewnia, że pozostają wolne od materiałów, które mogą negatywnie wpłynąć na ich skuteczność. Procedury mikrofabrykowania są wykonywane ze specjalnie zaprojektowanymi urządzeniami, które wskazują substancję, która ma zostać usunięta bez poświęcania integralności wafla.
Najczęstszym reaktywnym urządzeniem do trawienia jonów jest wykonane z przedziału próżniowego w kształcie cylindra z izolowanym uchwytem dla wafla podłączonego do dolnej części komory. W górnej części statku znajdują się małe otwory, które wpuszczają gaz. Zastosowane są różne rodzaje gazów, w zależności od indywidualnych wymagań określonego wafla.
Plazma sprzężona indukcyjnie jest innym sposobem tej technologii. Dzięki temu urządzeniu plazma jest wytwarzana przez wysoce wyspecjalizowane pole magnetyczne. Często zdarza się osiągnąć wysoki poziomStężenie w osoczu tą metodą.
Reaktywne trawienie jonów w osoczu jest stanem materii, który jest chemicznie reaktywny i jest wytwarzany przez bardziej standardowe pole elektromagnetyczne częstotliwości radiowej (RF). Jony w osoczu mają niezwykle dużą ilość energii. Jony te reagują na zanieczyszczenia na waflu i pracują nad usunięciem wad na jego powierzchni.
Proces chemiczny zaangażowany w reaktywne trawienie jonów jest wieloaspektowe. Po pierwsze, do komory opłat wysyłane jest znaczne pole elektromagnetyczne. Następnie pole oscyluje, co jonizuje cząsteczki gazu w naczyniu i usuwa ich elektrony. Powoduje to stworzenie plazmy.
Reaktywne trawienie jonów jest jednym typem szerszej kategorii usuwania mikrofabrykacji zwanej trawieniem na sucho. Nie wykorzystuje cieczy w procesie usuwania, w przeciwieństwie do trawienia na mokro, które wykorzystuje różne kwasy i chemikalia, aby osiągnąć ten sam cel. Od mokrego ePrzyczyny podcięcia do waflowania, a także znaczne ilości toksycznych odpadów, suche trawienie staje się bardziej popularną metodą usuwania chemikaliów.
Jedną z głównych wad reaktywnego trawienia jonów jest koszt. W porównaniu z technikami trawienia mokrego jest znacznie droższy ze względu na wyspecjalizowany sprzęt. Jednak ogólnie procesy trawienia na sucho są znacznie bardziej skuteczne w dotarciu do trudniejszych obszarów wafla. Ważne jest jednak, aby pamiętać, że niektóre zadania nie wymagają drobnych szczegółów dostarczonych przez tę formę trawienia, a procedury trawienia na mokro mogą wykonywać zadanie równie skutecznie.