O que é gravação de íons reativos?

A gravura de íons reativos é um tipo de tecnologia usada na microfabricação para remover substâncias das bolachas. As bolachas são pequenas tiras de semicondutores usadas na criação de microdesposições, e a tecnologia de gravação de íons reativa garante que eles permaneçam livres de materiais que possam afetar negativamente sua eficácia. Os procedimentos de microfabricação são realizados com dispositivos especialmente projetados que identificam a substância a ser removida sem sacrificar a integridade da bolacha. Existem pequenos orifícios no topo da embarcação que deixam entrar no gás. Vários tipos de gases são usados, dependendo dos requisitos individuais de uma bolacha específica.

Plasma indutivamente acoplado é outro modo dessa tecnologia. Com este dispositivo, o plasma é criado por um campo magnético altamente especializado. Não é incomum atingir altos níveis deConcentração plasmática com esse método. Os íons dentro do plasma têm uma quantidade incomumente alta de energia. Esses íons reagem aos detritos em uma bolacha e trabalham para remover os defeitos em sua superfície.

O processo químico envolvido na gravação de íons reativos é multifacetado. Primeiro, um campo eletromagnético substancial é enviado para a câmara de wafer. O campo então oscila, que ioniza as moléculas de gás no vaso e remove seus elétrons. Isso resulta na criação do plasma.

A gravura de íons reativos é um tipo de categoria mais ampla de remoção de microfabricação chamada gravura seca. Ele não usa líquidos no processo de remoção, diferentemente da gravação úmida, que usa vários ácidos e produtos químicos para atingir a mesma extremidade. Desde molhado eTching causa redução da bolacha, bem como quantidades significativas de resíduos tóxicos, a gravação a seco está se tornando um método mais popular de remoção química de wafer.

Uma das principais desvantagens da gravação de íons reativos é o custo. Comparado às técnicas de gravação úmida, é muito mais caro devido ao equipamento especializado necessário. No entanto, os processos de gravação a seco em geral são muito mais eficazes para atingir áreas mais complicadas de uma bolacha. É importante lembrar, porém, que alguns trabalhos não exigem os detalhes minuciosos fornecidos por esta forma de gravação, e os procedimentos de gravação úmida podem realizar a tarefa com a mesma eficácia.