Vad är reaktiv jonetsning?
Reaktiv jonetsning är en typ av teknik som används vid mikrofabrikation för att ta bort ämnen från skivor. Rån är små halvledarremsor som används vid skapandet av mikroapparater, och reaktiv jonetsningsteknik säkerställer att de förblir fria från material som kan påverka deras effektivitet negativt. Mikrofabriceringsförfaranden utförs med speciellt konstruerade enheter som fastställer ämnet som ska tas bort utan att offra skivans integritet.
Den vanligaste reaktiva jonetsningsanordningen är gjord av ett cylinderformat vakuumfack med en isolerad hållare för skivan fäst vid kammarens bottendel. Det finns små hål i toppen av fartyget som släpper in gas. Olika typer av gaser används, beroende på de individuella kraven för en viss skiva.
Induktiv kopplad plasma är ett annat läge för denna teknik. Med den här enheten skapas plasma av ett högt specialiserat magnetfält. Det är inte ovanligt att uppnå höga plasmakoncentrationer med denna metod.
Reaktiv jonetsplasma är ett ämnesläge som är kemiskt reaktivt och skapas av det mer standardfrekvens (RF) elektromagnetiska fältet. Joner i plasma har en ovanligt stor mängd energi. Dessa joner reagerar på skräp på en skiva och arbetar för att ta bort defekterna på dess yta.
Den kemiska processen som är involverad i reaktiv jonetsning är mångfacetterad. Först skickas ett väsentligt elektromagnetiskt fält till skivkammaren. Fältet oscillerar sedan, vilket joniserar gasmolekylerna i kärlet och tar bort deras elektroner. Detta resulterar i skapandet av plasma.
Reaktiv jonetsning är en typ av en bredare kategori för borttagning av mikrofabricering som kallas torr etsning. Det använder inga vätskor i borttagningsprocessen, till skillnad från våtetsning, som använder olika syror och kemikalier för att uppnå samma mål. Eftersom våtetsning orsakar underskott på skivan, såväl som betydande mängder giftigt avfall, blir torretsning en mer populär metod för kemisk borttagning av skivor.
En av de största nackdelarna med reaktiv jonetsning är kostnaden. Jämfört med våta etsningstekniker är det mycket dyrare på grund av den specialutrustning som behövs. Torra etsningsprocesser i allmänhet är emellertid mycket effektivare för att nå svårare områden av en skiva. Det är dock viktigt att komma ihåg att vissa jobb inte kräver den minsta detalj som tillhandahålls av denna form av etsning, och att våta etsningsprocedurer kan utföra uppgiften lika effektivt.