Co je reaktivní leptání iontů?

Reaktivní leptání iontů je typ technologie používané při mikrofabrikaci k odstranění látek z oplatek. Destičky jsou malé polovodičové proužky používané při vytváření mikrodevisů a reaktivní technologie leptání iontů zajišťuje, že zůstávají bez materiálů, které by mohly negativně ovlivnit jejich účinnost. Postupy mikrofabrikací se provádějí se speciálně navrženými zařízeními, která určují látku, která má být odstraněna, aniž by obětovala integritu oplatky. V horní části nádoby jsou malé otvory, které nechají plyn. Používají se různé typy plynů v závislosti na individuálních požadavcích konkrétního oplatky. S tímto zařízením je plazma vytvořena vysoce specializovaným magnetickým polem. Není neobvyklé dosáhnout vysoké úrovněPlazmatická koncentrace s touto metodou. Ionty v plazmě mají neobvykle vysoké množství energie. Tyto ionty reagují na úlomky na destičce a pracují na odstranění vad na jeho povrchu.

Chemický proces zapojený do reaktivního leptání iontů je mnohostranný. Nejprve je do oplatkové komory odesláno podstatné elektromagnetické pole. Pole pak osciluje, které ionizuje molekuly plynu v nádobě a odstraňuje jejich elektrony. To má za následek vytvoření plazmy.

Reaktivní iontové leptání je jedním typem širší kategorie odstraňování mikrofabrikace nazývanou suché leptání. V procesu odstraňování nepoužívá žádné kapaliny, na rozdíl od mokrého leptání, které k dosažení stejného konce používá různé kyseliny a chemikálie. Od mokrého eTching způsobuje podkopání na oplatku, stejně jako značné množství toxického odpadu, suché leptání se stává populárnější metodou chemického odstranění oplatky.

Jednou z hlavních nevýhod reaktivního leptání iontů jsou náklady. Ve srovnání s technikami mokrých leptání je to mnohem dražší kvůli potřebnému specializovanému vybavení. Procesy suchého leptání obecně jsou však mnohem účinnější při dosahování složitějších oblastí oplatky. Je však důležité si uvědomit, že některé úlohy nevyžadují minutové detaily poskytnuté touto formou leptání a postupy mokrý leptání mohou úkol splnit stejně efektivně.