Co je reaktivní iontové leptání?

Reaktivní iontové leptání je typ technologie používané při mikroúpravě k odstraňování látek z oplatek. Oplatky jsou malé polovodičové proužky používané při vytváření mikroústrojů a technologie reaktivního leptání iontů zajišťuje, že zůstanou bez materiálů, které by mohly negativně ovlivnit jejich účinnost. Mikrofabrikační postupy se provádějí se speciálně navrženými zařízeními, která určují látku, která má být odstraněna, aniž by došlo k obětování celistvosti oplatky.

Nejběžnější zařízení pro leptání reaktivních iontů je vyrobeno z vakuového prostoru ve tvaru válce s izolovaným držákem pro oplatku připevněnou ke spodní části komory. V horní části nádoby jsou malé otvory, které uvolňují plyn. Používají se různé druhy plynů v závislosti na individuálních požadavcích konkrétního oplatky.

Indukčně vázaná plazma je dalším způsobem této technologie. S tímto zařízením je plazma tvořena vysoce specializovaným magnetickým polem. U této metody není neobvyklé dosáhnout vysokých hladin plazmatické koncentrace.

Plazmová leptání reaktivních iontů je stav látky, která je chemicky reaktivní a je vytvářena standardnějším elektromagnetickým polem (RF). Ionty v plazmě mají neobvykle velké množství energie. Tyto ionty reagují na trosky na oplatce a snaží se odstranit vady na svém povrchu.

Chemický proces zapojený do reaktivního leptání iontů je mnohostranný. Nejprve je do oplatkové komory zasláno podstatné elektromagnetické pole. Pole potom osciluje, což ionizuje molekuly plynu v nádobě a odstraňuje jejich elektrony. To má za následek vytvoření plazmy.

Reaktivní iontové leptání je jedním typem širší kategorie odstraňování mikrofabrikací zvané suché leptání. Na rozdíl od mokrého leptání, které používá různé kyseliny a chemikálie k dosažení stejného cíle, nepoužívá při odstraňování žádné tekutiny. Protože leptání za mokra způsobuje podříznutí na oplatce a také značné množství toxického odpadu, stává se suché leptání stále oblíbenější metodou chemického odstraňování oplatky.

Jednou z hlavních nevýhod leptání reaktivních iontů je cena. Ve srovnání s technikami leptání za mokra je to mnohem dražší kvůli potřebnému speciálnímu vybavení. Procesy suchého leptání jsou však obecně mnohem účinnější při dosahování složitějších oblastí oplatky. Je však důležité si uvědomit, že některé úlohy nevyžadují drobné podrobnosti poskytované touto formou leptání a postupy leptání za mokra mohou úkol splnit stejně efektivně.